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電子光學潔淨工程

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電子光學潔淨工程


電子光學潔淨工程

電子光電行業✘☁••,由於其人員密集性✘☁••,而人員又是潔淨室Z主要的汙染源✘☁••,所以在設計▩▩↟、人員動向▩▩↟、管理▩▩↟、節能等方面都要做到全面的考量↟▩↟。


潔淨工程


光學微電子淨化工程一般包括▩↟◕↟:

1▩▩↟、 潔淨生產區

2▩▩↟、 潔淨輔助間(包括人員淨化用房▩▩↟、物料淨化用室和部分生活用室等)

3▩▩↟、 管理區(包括辦公▩▩↟、值班▩▩↟、管理和休息等)

4▩▩↟、 裝置區(包括淨化空調系統應用▩▩↟、電氣用房▩▩↟、高純水和高純氣用房▩▩↟、冷熱裝置用房)


潔淨工程


光學微電子淨化工程淨化原理

氣流→初效淨化→空調→中效淨化→風機送風→管道→高效淨化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌

等顆粒 → 迴風百葉窗→初效淨化 重複以上過程✘☁••,即可達到淨化目的↟▩↟。

光學微電子淨化工程淨化引數

換氣次數▩↟◕↟:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次↟▩↟。壓差▩↟◕↟:主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速▩↟◕↟:10級▩▩↟、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃↟▩↟。

溫度45-65%;GMP粉劑車間溼度在50%左右為宜;電子車間溼度略高以免產生靜電↟▩↟。

噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX↟▩↟。

光學微電子淨化工程結構材料

1. 淨化廠房牆▩▩↟、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板製造✘☁••,其特點為美觀▩▩↟、剛性強↟▩↟。圓弧牆 角▩▩↟、門▩▩↟、窗框等一般採用專用氧化鋁型材製造↟▩↟。

2.地面可採用環氧自流坪地坪或高階耐磨塑膠地板✘☁••,有防靜電要求的✘☁••,可選用防靜電型↟▩↟。

3.送回風管道用熱渡鋅板製成✘☁••,貼淨化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板↟▩↟。

4.高效送風口用不鏽鋼框架✘☁••,美觀清潔✘☁••,衝孔網板用烤漆鋁板✘☁••,不生鏽不粘塵✘☁••,宜清潔

隨著積體電路光刻等工藝發展✘☁••,其生產環境對潔淨度要求也越來越高✘☁••,CLASS 100/10級✘☁••,甚至1級↟▩↟。

我司設計團隊將根據客戶所屬產業實際情況▩▩↟、工藝要求▩▩↟、管理需求✘☁••,按節能環保的要求✘☁••,提供潔淨室及配套系統整廠規劃設計↟▩↟。

1▩▩↟、Class 1K ▩▩↟、10K ▩▩↟、100K分產品需求有不同等級無塵室;

2▩▩↟、壓縮空氣▩▩↟、有機排氣等生產配套系統;


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